Reinraumtechnik für die Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung
Kontrollierte Produktionsumgebungen für sensible Fertigungs-, Montage- und Prüfprozesse.
Halbleiter & Mikroelektronik
Funktionierende Reinräume für die
Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung
In der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung können bereits kleinste Partikel oder Schwankungen von Temperatur, Feuchte und Druck die Prozesssicherheit und Produktqualität beeinflussen. Gerade bei der Fertigung sensibler elektronischer Bauteile und hochpräziser Komponenten sind stabile Umgebungsbedingungen entscheidend.
Becker Reinraumtechnik begleitet Reinraumprojekte von der Beratung und Planung über die Realisierung und Qualifizierung bis zu Ausstattung, Service und Requalifizierung. Dabei stimmen wir Reinraumklasse, Lufttechnik, Anlagenintegration sowie Material- und Personalflüsse auf die jeweiligen Prozesse ab.
So entstehen Reinräume, die funktionieren: Sie unterstützen sensible Fertigungsprozesse zuverlässig und schaffen stabile, reproduzierbare Bedingungen für einen sicheren und effizienten Betrieb.
Projekt anfragenBranchenanforderungen
Anforderungen an Reinräume in der
Halbleiter- und Mikroelektronik
Partikel- &
Kontaminationskontrolle
Partikel können Defekte und Yield-Verluste verursachen. Luftführung, Filtertechnik und Oberflächen werden daher auf Prozess, Reinheitsanforderungen und Kontaminationsrisiko abgestimmt.
Molekulare Kontamination
(AMC)
Neben Partikeln können Airborne Molecular Contaminants (AMC) empfindliche Prozesse und Materialien beeinflussen. Je nach Anwendung werden molekulare Verunreinigungen gezielt kontrolliert und überwacht.
Temperatur, Feuchte &
Prozessstabilität
Stabile Temperatur- und Feuchtebedingungen schaffen reproduzierbare Bedingungen für präzise Fertigungs- und Messprozesse. Dabei werden auch Wärmelasten und die Betriebsbedingungen der Anlagen berücksichtigt.
Luftführung, Druckstufen
& Reinraumzonen
Luftführung und Druckstufen steuern den Partikeltransport und trennen Reinraumzonen. Schleusen, Übergänge und Anlagenbereiche werden dafür in ein ganzheitliches Luftkonzept integriert.
ESD-Schutz &
elektrostatische Kontrolle
Elektrostatische Aufladung und elektrostatische Entladungen können empfindliche Bauteile und Prozesse beeinträchtigen und Partikel an Oberflächen anziehen. ESD-Konzepte berücksichtigen deshalb Böden, Materialien, Equipment und Personen.
Anlagenintegration,
Medienversorgung & Abluft
Wärmelasten, Abluft, Medienversorgung, Anlagenlayout und Wartungszugänge werden frühzeitig integriert. So lassen sich Reinraumtechnik und Prozessanlagen technisch aufeinander abstimmen und zuverlässig betreiben.
Referenzen
Reinraumprojekte aus der
Halbleiter- und Mikroelektronik
- Auftraggeber
- Max-Planck-Institut für Kernphysik,
Heidelberg - Branche
- Mikroelektronik
- Reinraumklasse
- Schlüsselfertigbau Reinraum
ISO-Klasse 6 - 8 - Technik
-
Reinraumhülle (Wand, Boden, Decke)
RLT- und Kältetechnik
Regelungstechnik
Reinstgase
- Auftraggeber
- Süss Microtec, Garching
- Branche
- Mikroelektronik
- Reinraumklasse
- Schlüsselfertiger Reinraum
- Technik
-
Reinraumhülle (Wand, Boden, Decke)
RLT-Kälte- und Regelungstechnik
Medienerzeugung & -versorgung
DI -Wasser
Reinstgase, Druckluft, Stickstoff
Stahlbau
- Auftraggeber
- Rogers Germany GmbH, Eschenbach
- Branche
- Mikroelektronik
- Reinraumklasse
- Schlüsselfertiger Reinraum
- Technik
-
Reinraumhülle (Wand, Boden, Decke)
RLT- und Kältetechnik
Regelungstechnik
Medienverteilung
Materialschleusen
Reinraummöbel
- Auftraggeber
- Universität Bochum
- Branche
- Mikroelektronik
- Reinraumklasse
- ISO 5-8
- Technik
-
Reinraumhülle (Wand, Boden, Decke)
RLT- und Kältetechnik
Regelungstechnik
Laborplanung
Laminar-Flow-Einheiten
Reinräume, die funktionieren
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